例1：O2＋e- →2O*＋e- O*＋有机物→CO2＋H2O从反应式可见，氧等离子体处理金属氧等离子体通过化学反应可使非挥发性有机物变成易挥发的H2O和CO2。例2：H2＋e- →2H*＋e- H*＋非挥发性金属氧化物→金属＋H2O从反应式可见，氢等离子体通过化学反应可以去除金属表面氧化层，通常用于清洁金属表面，在清洗过程中避免金属氧化。
这些官能团可以用聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚四氟乙烯等完全惰性的基材作为官能团材料，氧等离子体处理金属提高表面极性、润湿性、结合性、反应性及其用途，可以大大提高价值。与氧等离子体不同，含氟气体的低温等离子体处理可以将氟原子引入基板表面，使基板具有疏水性。等离子表面处理机使用纯氢清洗表面氧化物，但效率很高，但这里主要考虑放电的稳定性和安全性，使用氩气和氢气的混合物，效果更好。
2、低温等离子处理设备产生的等离子官能团：聚合物板可用N2、NH3、O2、SO2等气体等离子体处理，氧等离子体去除氨基羧基改变表面的化学成分，注入相应的新功能组：-NH2、-OH、-COOH等。这种化学键可以将聚合物从惰性基材转变为化学键片。这提高了表面极性、润湿性、粘附性、反应性，并大大增加了使用价值。与氧等离子体相比，清洗氟气低温等离子体处理装置可以将氟原子注入基板表面，使基板具有疏水性。
2、使用氩等离子体和氧等离子处理聚甲基丙烯酸甲酯，氧等离子体处理金属可提升材料的表面润湿性以及基托跟唾液之间的吸附力。3、避免材料表面非特定蛋白质的吸附，较长时间保持材料表面洁净，常会使用在隐形眼镜、伤口愈合材料、导尿管、生物传感器等。4、对PET膜处理，可延长吸附白蛋白的保留时间，提高抗凝血性。5、通过等离子处理机来改善骨头和人工关节处位置固定，提升关节接合处的耐磨性和生物相容性。。
氧等离子体去除氨基羧基
plasma清洗设备氧等离子体对AlGaN/GaN HEMT表面处理的影响：宽禁带半导体材料氮化稼(GaN)，以其良好的物理化学特性、电学特性成为目前研究多的半导体材料，它是继一代半导体材料硅(Si)和第二代半导体材料砷化嫁(GaAs)、磷化嫁(GaP)、磷化铜(InP)等之后迅速发展起来的第三代半导体材料。
采用扫描电镜（SEM）、红外光谱（FTIR-ATR）、表面接触角等方法检测氧等离子体处理前后天然乳胶导尿管表面结构、特性及化学成分的变化。 .氧等离子处理是一种有效的表面处理方法，因为它很滑，表面接触角从84°降低到67°，表面不会产生有害基团。。等离子体表面处理的机理主要依靠等离子体中活性粒子的“活化”来达到去除物体表面污垢的目的。
涂层工艺可以进一步改善复合材料的表面性能。这种等离子技术允许根据特定工艺要求对材料进行有效的表面预处理。等离子表面处理机可安装在各类自动化糊盒机上，是印刷行业的一项技术突破，是企业节约生产成本的法宝。应用范围广泛，如粘贴盒、粘贴盒、塑料/橡胶表面改性处理、食品/果酱瓶包装胶粘处理、医用材料表面处理等。等离子处理可以有效地清洁、再生和涂覆表面。一种加工工艺，可用于加工塑料、金属和玻璃等各种材料。
在低温等离子体中，有活性微粒(可以是有化学活性的汽体、惰性气体或金属元素汽体)和辐射。利用离子轰击或向聚合物表面注入，形成断链或引入官能团，低温等离子体使表面活性化，从而实现改性。 结果显示，固体基材表面能相较于溶液的界面张力越高，附着性越好，接触角越小。为使溶液与材料表面有合适的结合，材料的表面能量应大于溶液的张力，大约为2-10mN/m。
氧等离子体去除氨基羧基
因此，氧等离子体处理金属采用等离子体高分子材料改性技术可以克服常规方法使用的不足，使高分子材料的表面处理更符合环保原则。适用性：无区别它可以适当地加工需要加工的基材类型，例如金属、半导体、氧化物和大多数聚合物材料。环保：等离子作用过程为气相干反应，不消耗。无额外水资源，无化学试剂，无环境残留，绿色环保；等离子清洗装置（真空）等离子清洗设备（常温常压）。
根据结论分析，氧等离子体处理金属我们会发现等离子清洗机主要有两个因素：（1）等离子体清洗机形成的等离子体技术放电，会将苯酚的羟基(-OH)、羧基(-COOH)、羧酸的羰基(C=O)等亲水性基团引入表层，增加原料表层的穿透性，进一步提高基体表层的附着力和结合强度。②等离子清洗机形成的等离子技术，促进原料分子键被打开，交联功能和低分子量污染物被去除，原料表层形成清洁、牢固的界面层，也促进附着力和粘结强度的提高。
