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以物理反应为中心的等离子体清洗,也称为溅射腐蚀(SPE)离子铣削(IM),其优点是自身不发生化学反应,清洁表面不会留下氧化物,可以保持被清洗物的化学纯度,另一个等离子清洗在表面反应机制中物理反应和化学反应发挥重要作用,即反应离子腐蚀或反应离子束腐蚀,两种清洗相互促进,离子轰击对被清洗表面造成损伤,减弱其化学键或原子状态,吸收反应剂。。

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上海真空等离子表面处理机生产厂家

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