在氯气中加入BCl3和He对氮化钛剖面形状的影响可以看出,涂膜附着力画圈法虽然添加He可以带来更高的光阻选择比,但氮化钛蚀刻表面明显比添加BCl3.3倾斜。通常,在等离子体清洗机和其他干式蚀刻完成后,引入一个酸性或碱性湿式清洗步骤,以完全去除等离子体蚀刻在晶圆上形成的副产物,避免二次反应。

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冷等离子体技术可以去除环境中的各种污染物。经济实用,涂膜附着力画圈法简单易行,无二次污染。而作为另一个优势,将这种技术用于污水处理是当前研究的热点之一。黄青课题组长期致力于利用低温等离子体技术解决水污染问题的基础研究,为该技术在环境领域的应用和推广做出贡献。。使用常压等离子清洗机清洁手机的玻璃面板。传统的清洗方法复杂、耗时、劳动强度大,而且会先用洗涤剂擦洗,然后用酸性、碱性和有机溶剂进行超声波清洗,从而造成污染。

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