+ O2 & RARR; O + O * + AR (1) AR * + O & RARR; O + AR (2) 高能电子与氧分子碰撞并分解形成激发氧原子 E + O2 & RARR O + O * + E (3) E + O2 & RARR; O + O + E (4) 被污染的润滑油和硬脂酸的主要成分是碳氢化合物，润滑脂附着力受哪些影响被活性氧氧化生成二氧化碳和水。
等离子体对润滑脂结垢的影响与润滑脂结垢的燃烧反应相似。但不同的是在低温下发生的“燃烧”。在氧等离子体中氧自由基、激发态氧分子、电子和紫外线的共同作用下，润滑脂附着力强油分子被氧化为水分子和二氧化碳分子并从表面去除。由此可见，利用等离子体去除石油污染的过程是一个大分子逐渐降解的过程，形成水、二氧化碳等小分子，这些小分子被排除在气态之外。等离子体清洗的另一个特点是，清洗后的物体已彻底干燥。
PTFE材料在耐高温、耐腐蚀、不粘连、自润滑性能、优异的介电性能、低摩擦系数等各方面都表现出优异的性能，润滑脂附着力受哪些影响而未经处理的PTFE材料表面活性低，一方面是粘结。金属之间的相互作用非常困难，产品不能满足质量要求。为解决这一技术难题，需要在不影响另一面性能的情况下，尝试改变PTFE（聚四氟乙烯）的表面性能和金属键。工业上用硫酸钠溶液处理可在一定程度上提高粘合效果，但改变了原有聚四氟乙烯的性能。
由于熔合损失多发生在摩擦副的初期磨合过程中，润滑脂附着力强而且往往破坏匹配件的走行面，使整个机组无法正常运行。因此，在所有的损失模式中，其带来的损害结果尤为突出。在等离子体等离子体发生器的机械运动中，有两种摩擦副因熔合而丢失的情况：1.在有润滑油的情况下，缸套和活塞环在有润滑油的情况下运转。
润滑脂附着力强
2.不直接供油和润滑的往复式循环压缩机的活塞杆不仅需要传递动力，而且要保持密封并在不直接供油的情况下运行，因此很容易熔合。损失。。
真空等离子清洗设备的真空泵选型不容忽视，但今天我们就为大家介绍一下真空清洗机中适合选型的油泵种类及其特点。清洗设备中常用的真空泵有两种：油泵和干式真空泵。油式真空泵是用于真空等离子清洗设备的油封、润滑和冷却的真空泵的总称。旋片式真空泵是一种油式真空泵，广泛应用于真空等离子清洗设备中。
影响等离子体清洗效果的因素有很多，包括化学药剂的选择、工艺参数、功率、时间、部件放置和电极配置。不同的清洗目的所需要的设备结构，电极连接的品种不同，反应气体也不同，其工艺原理也有很大的差别，有大量的物理反应，有大量的化学反应，两者都有大量的作用，而物理化学反应取决于等离子体源的有效性、等离子体体系的组合以及等离子体过程的操作参数。
用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同，它的方向性不强，因此它可以深入物体的微细孔眼和凹陷的内部并完成清洗任务，所以不必过多考虑被清洗物体形状的影响，而且对这些难清洗部位的清洗效果与用氟里昂清洗的效果相似甚至更好。
润滑脂附着力强
所以设计等离子清洗机的腔体首先必须是铝，哪种润滑脂附着力强而不是不锈钢；放置晶圆的支架滑动部分应尽量采用不易产生灰尘和被等离子腐蚀的材料；电极和支架易于拆卸和维护。1-2：等离子清洗机反应室内的电极间距、层数和气路分布对晶圆加工的均匀性有很大影响，这些指标需要通过不断的实验进行优化。1-3：等离子清洗晶圆的过程中，会有一定的热量积累。需要将电极板的温度保持在一定范围内，因此等离子清洗机的电极通常采用水冷。
