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从反应机理上看,等离子清洗一般包括以下过程:无机气体被激发成等离子态;气相物质吸附在固体表面;吸附的基团与固体表面分子反应生成产物分子。 . 形成。分析产物分子以形成气相;反应残留物从表面出现。气体压力控制是保证等离子清洗机正常运行的重要参数之一。典型的气体减压器包括气瓶减压器、气动调节器和管道节流阀。 1、气瓶减压装置气缸减压装置是将气缸内的高压气体减压为低压气体的装置。

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