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并且对这些难清洗部位的清洗作用与用氟利昂清洗的作用类似甚至更好。4·整个清洗工艺流程在几分钟内即可完结，无锡高附着力聚酯铝箔公司因而具有产率高的特点。5等离子清洗需求控制的真空度约在 Pa，这种真空度在工厂实践出产中很简单完结。这种装置的设备本钱不高，加上清洗过程不需运用价格较昂贵的有机溶剂，因而它的运转本钱要低于传统的清洗工艺。6因为不需求对清洗液进行运输，储存，排放等处理措施，所以出产场地很简单保持清洁卫生。
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如微细结构电子线路的刻蚀、光致抗蚀膜的清洗、提高尖端部位绝缘层等各种薄膜的覆盖能力等均可以采用等离子体清洗技术。虽然它应用到生产实践中的时间还不长，但已证明它确实具有实用性强、可靠性好、经济性佳及无公害性的优点。。
在直流电压的作用下，正负电晕均在尖端电极附近积聚空间电荷。在负电晕中，当电子引起碰撞电离时，它们被驱离尖端电极并形成负离子，而正离子积聚在电极表面附近。随着电场继续增强，正离子被吸引到电极和脉冲电晕电流出现，而负离子扩散到间隙空间。然后重复电离和带电粒子的过程。这种循环使许多电晕电流脉冲出现。电晕放电可以在大气压下工作，但需要足够高的电压来增加电晕处的电场。
等离子清洗机的RIE和ICP蚀刻可以更有效地控制侧壁沉积物的形成，不同材料之间的蚀刻选择性对于图案转移的准确性和蚀刻形状的控制很重要。等离子清洗机通常使用卤素气体（主要是BR、CL、F气体）进行金属蚀刻。当应用于图案化磁存储器时，副作用是由于残留的非易失性蚀刻导致的金属腐蚀问题。刻蚀磁存储核心单元的超薄单层时，性能更显着。蚀刻副产物可被 350°C 以上的高温激活，但相关的磁性能也显着降低。
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