自由电子与气体分子之间缺乏热平衡，振动导致涂层附着力下降气体温度仅为50-250℃。在电场的作用下，电子、离子、中性和激发态分子之间会发生一系列的相互作用——弹性或非弹性碰撞。在电子与气体分子的弹性碰撞中，只有少量电子能传递给气体分子，气体温度升高。在非弹性碰撞中，电子损失了更多的能量，刺激分子内部运动，如振动、旋转或电子跃迁，产生离子、自由基或亚稳态活性体。
等离子体的特性 等离子体在宏观上是电中性的。在正常情况下，涂层附着力的现场检测等离子体是电中性的，但当受到任何干扰时，等离子体内部会发生局部电荷分离，从而产生电场。例如，当带正电的球体置于等离子体中时，等离子体中的电子被吸引而离子被排斥，在球体周围形成带负电的球形“电子云”。等离子体在振动。正常情况下，当等离子体处于平衡状态时，其密度分布从宏观上看是均匀的，但从微观上看，其密度分布是起伏不定的。这是不平衡的。
例如，涂层附着力的现场检测当带正电的球体置于等离子体中时，等离子体中的电子被吸引而它们的离子被排斥，在球体周围形成带负电的球形“电子云”。二、等离子表面处理设备具有振动特性。正常情况下，等离子体处于平衡状态时，其密度分布在宏观水平上是均匀的，但在微观水平上会上下波动且不均匀。有密度波动的冲击。 3、等离子体 表面处理设备的等离子体中存在鞘层现象。
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方程（3-27）（断开 CH 键）很容易进行。
低温等离子体去除污染物的机理研究；在等离子体化学反应过程中，反应过程中的能量由等离子体传递交付情况大致如下：（1）电场+电子&RARR；高能电子（2）高能电子+分子（或原子）&RARR；（激发态原子、激发态基团、游离基团）活性基团（3）活性基团+分子（原子）&RARR；产品+热量（4）活性组+活性组&RARR；产品+热量从上述过程可以看出，电子首先从电场中获得能量，通过激发或电离将能量传递给分子或原子。
(3)当在真空电极和接地装置之间施加高频电压时，气体分解，通过光放电产生离子，形成等离子体。真空形成的等离子体完全覆盖处理过的工件并逐渐启动清洁操作。清洁通常持续几十秒到几分钟。 (4)等离子表面处理装置清洗后，切断高频电压，排出气体和汽化污垢，将空气吹成真空，将气压升至大气压。等离子表面处理设备的优点如下： (1)等离子清洗后，清洗后的物体已经很干燥，无需干燥即可送入下一道工序。
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