小型石英等离子清洗机的清洁与保养手册1．对等离子清洗机进行清洁维护时，应首先关闭设备上的总电源开关，将清洗强度旋钮左旋归零，关闭A气路和B气路上浮子流量计的进气针阀，并从插座上拔掉电源线插头。
2．耐热玻璃清洗舱应经常保持洁净，清洗舱内壁可用湿布擦试，如清洗舱内壁很脏，则可将其取出设备后用软性洗涤剂冲洗，切勿使用粗糙或磨损性的清洗剂来清洗耐热玻璃舱。
3．必须经常清洁清洗舱门的密封面，可用软布擦拭清洗舱门。
4．等离子清洗机外部表面应使用软布擦试，不可用水溶液洗刷等离子清洗机，因为水洗后的等离子清洗机可能导致触电。注意不要让水渗进舱门缝或通风口，如设备表面被水弄湿，请用软布擦干。切勿使用粗糙或磨损性的清洗剂来擦拭设备的表面。
5．设备应在洁净的环境中使用，并由专业人员定期对设备进行清洁和维护，长期使用后的维护中应清除电路版上的尘埃，保证设备运行正常。
6．如设备因碰撞或跌落而造成舱门、门封、铰链、外壳等损坏，请不要再使用该等离子清洗机，必须由专业维修人员对损坏部分进行维修。
7．若设备长时间不使用，应关闭电源开关；拔掉等离子清洗机和真空泵的电源插头；关闭清洗气源钢瓶上的总阀；关闭气瓶上减压阀的阀门；右旋关闭A气路和B气路上浮子流量计进气针阀的开关（旋纽不可拧得太紧，否则易损坏针阀）；将清洗强度旋钮左旋归零；然后将设备盖上防尘罩后放置在通风、干燥、没有腐蚀性气体的洁净环境中。同时要注意设备应远离高温及蒸汽，避免设备暴露在阳光的直射下。
8．真空泵使用前应严格按照厂方提供的说明书要求加入真空泵油，真空泵还应按其说明书要求定期更换真空泵油并进行维护和保养。
9．气体控制系统的维护：气路漏气与否的检查。首先打开气体控制系统的电源开关，使电磁阀处于工作状态，接着开启气瓶及减压阀，使气体压力指示在额定值上，然后关闭气瓶，观察减压阀上的压力表指针，应在几个小时内没有下降或下降很少，否则气路中有漏气现象。气路杂质的清理。拔下某些区段的气体管道，打开气瓶，放一段时间的气体，可将管道中的水珠、尘粒、杂质等吹出，保持气路畅通。安装气体管道时，注意不要让管子弯曲太厉害，否则影响测定的稳定性，同时也容易造成管道损坏。小型石英等离子清洗机的清洁与保养手册00224411