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在玻璃基板(LCD)的 COG 工艺中放置裸 IC 芯片时,当它在键合后在高温下固化时,底涂层的成分会沉积在键合填料的表面上。此外,Ag浆等粘合剂会溢出并污染粘合剂中的粘合剂。如果这些污染物在热压结合之前可以通过等离子体处理去除,热压结合效果将大大提高。此外,提高了基板与管芯表面的润湿性,减少了线路腐蚀,提高了LCD-COG模块的粘接密封性。此外,物理过程不同于被蚀刻的基板表面的离子冲击和溅射蚀刻。

1)对AlN填料采用适当等离子体氟化可以使得填料粒径降(低),并在填料与聚合物中引入氟元素,减少环氧树脂中低能级陷阱密度,增加环氧树脂中电荷消散通道,提高环氧树脂电荷消散能力。2)随着填料氟化时间增加,掺杂填料经等离子体氟化后的试样闪络电压及其分散性均有所(提)升,AlN填料氟化45min,试样闪络电压平均值增加很(明)显,且分散性较低。

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随着高新技术产业的快速发展,环保亲水性聚氨酯填料等离子清洗应运而生已广泛应用于电子工业、半导体工业、光电工业等高新技术领域。。使用等离子体设备对环氧树脂进行氟化可以提高电荷耗散能力:对于改性的环氧树脂,由于填料的引入以及环氧本身具有更多的不饱和键和支链结构,不可避免地会在环氧树脂中存在陷阱。大粒径聚合物中捕集器的密度也很高。等离子体设备的氟化会降低填料的粒径,因此无氟填料样品中的捕集器密度很高。