等离子体清洗/蚀刻机产生等离子体设备设置在密闭容器中,两个电极形成电场与真空泵达到一定程度的真空,随着气体变得越来越薄,分子间距和自由运动的分子或离子之间的距离也越来越长,电场，电泳漆膜附着力检测标准是它们碰撞形成等离子体。这些离子非常活跃，它们的能量足以摧毁几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应。等离子体的不同气体具有不同的化学性质，如氧等离子体具有高氧化性，可以氧化光刻胶反应生成气体，从而达到清洗的效果。
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3、室内真空高频电极之间的电压和接地装置,使气体被击穿而发生辉光放电等离子体电离,让产生的等离子体在真空室在加工工件,开始清洗,清洗处理最后几秒到几十分钟,根据材料的不同加工。4、清洗完毕后，漆膜附着力检测表切断电源，并通过真空泵排出气体和气化污垢，结束清洗。真空等离子清洗机有许多优点:如采用数控技术，自动化程度高;配有高精度的控制装置，时间控制精度高;正确的等离子清洗不会在表面产生损伤层，表面质量能得到保证。
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本发明是真空泵、RF、真空计、定时器、浮子流量计、绿色电源指示灯、带灯蜂鸣器、功率调节器、排气按钮（带自锁）、气体旋钮（带自锁）、自带开关、锁（带自锁）、带自锁开关等。按钮（带自锁）、真空泵按钮（带自锁）、主电源旋钮开关。由于按钮式真空吸尘器的结构和操作方式，存在一些缺点。由于触点之间的布线连接，容易击穿，可靠性低，维护困难。所有继电器组件都是独立的组件并且体积庞大。
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