2.真空腔体真空腔体主要是分为两种材质的：1）不锈钢真空腔体。2）石英腔体。3.真空泵真空泵分为两种：1）干泵。2）油泵。
在实际生产中，泉州真空等离子清洗的旋片罗茨式真空泵发现等离子清洗机的一些重要部件随着时间的推移会出现不同程度的氧化、老化、腐蚀等问题，使得等离子清洗机无法实现。清洁效果。反应室、电极、托盘架、气压等原因下面对一些重要部件在维护前后的影响以及如何维护进行说明。清洁等离子腔腔 清洁等离子腔时产生的大部分污垢都接近电子水平仪，并由真空泵去除。但是，它也会产生一些大颗粒污染物。这些大的污垢颗粒会粘附在腔室壁、电极和托盘支架上。
等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，泉州真空等离子清洗的旋片罗茨式真空泵用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这时会发出辉光，故称为辉光放电处理。 辉光放电时的气压大小对材料处理效果有很大，影响另外与放电功率，气体成分及流动速度、材料类型等因素有关。
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泉州真空等离子清洗分子泵组原理
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单晶片级等离子清洗机和 3D 芯片封装应用的理想选择。等离子应用包括除灰、灰化/光腐蚀/聚合物剥离、介电蚀刻、晶圆凸块、有机物去除和晶圆脱模。等离子清洗机的作用是快速清洗材料表面的有机和无机污渍，增加渗透性，显着改变粘合强度和焊接强度，去除残留物。离子过程易于控制并且可以安全地重复。有效的表面处理对于提高产品可靠性和工艺效率极为重要。等离子清洗机也是一种理想的等离子表面改性材料工艺。
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等离子发生器加工工艺加工后不加工。它不会在纸箱表面留下任何痕迹，并抑制气泡的产生。。使用带有等离子清洁器的折叠胶合机可以降低贵公司的成本。使用带糊盒机的等离子清洗机可以显着降低糊盒机的成本，解决糊盒机工艺的脱胶情况。等离子清洗机不划伤包装盒表面，提高附着力，不易产生纸滴，易于清洁工作环境，不干扰工作效率，节省高强度成本。海藻。糊盒经过等离子清洗机适当处理后，去除表面有机化学污染物，清洗表面。
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