半导体等离子清洗设备支持直径从75MM到300MM的圆形或方形晶圆/基板的自动化加工处理。此外,半导体等离子体蚀刻设备根据晶片的厚度,可以使用或不使用载体进行片材加工。等离子室设计提供了出色的蚀刻均匀性和工艺再现性。等离子表面处理的使用主要涉及蚀刻、灰化和除尘等各种工艺。其他等离子处理包括去污、表面粗糙化、增加水分、提高附着力和强度、光刻胶/聚合物剥离、介电蚀刻、晶片凸块、有机物去除和晶片释放。

半导体等离子清洗设备用于PCB电路板加工,半导体等离子体蚀刻设备是晶圆级和3D封装的理想选择。除尘、使用等离子包括灰化/https://www.jinlaiplasma.com/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli05.png光刻胶https://www.jinlaiplasma.com/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli05.png/https://www.jinlaiplasma.com/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli05.png聚合物剥离、介电蚀刻、晶圆凸块、有机物去除、晶圆释放。半导体等离子清洗设备是晶圆加工前常见的后端封装工艺,是晶圆扇出、晶圆级封装、3D封装、倒装芯片和传统封装的理想选择。型腔规划和操作的结构减少了等离子循环时间,同时降低了开销,保持了生产计划的生产效率并降低了成本。

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半导体等离子清洗设备使用铝合金型腔达到其他清洗方法难以达到的效果的原因https://www.jinlaiplasma.com/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli05.png半导体等离子清洗设备使用铝合金型腔的原因:https://www.jinlaiplasma.com/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli05.png常用于半导体等离子清洗设备不同行业和应用领域如石英玻璃、不锈钢和铝合金的选择不同。为什么半导体行业的大部分半导体等离子清洗设备都使用铝合金?半导体行业使用的等离子清洗设备在清洗和蚀刻过程中特别注重真空反应室材料的选择。毕竟晶圆、支架等产品的加工环境比较高。

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