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在材料表面处理中采用低温等离子体,主要包括三类处理装置:射频真空等离子体清洗机、DBD等离子体清洗机和滑动弧射流等离子体清洗机。下面为大家介绍这三类等离子体清洗机各自的优势和不足之处。不同类型等离子体清洗机优劣势对比如下:射频真空等离子体清洗机(真空)射频(RadioFrequency,RF)低温等离子体是利用高频高压使电极周围的气体电离而产生的低温等离子体。

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