由于等离子处理设备的惰性气体产生的DBD等离子体不含有反应性粒子,吸胀吸水 亲水性物质所以在使用惰性气体DBD对材料表面进行改性时,引入表面基团的主要是材料。 . DBD等离子体作用后,当等离子体作用于空气中的材料表面时,材料表面产生的聚合物自由基与空气中的物质结合。等离子体中的粒子与表面原子或分子结合形成挥发性产物。挥发性产物从表面挥发,导致等离子体蚀刻材料表面。

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