在二次电子释放时，附着力的表达式若电场换向，达到相一致，则可有效增强电离。冲波效应是电离强化的另一个证据机制，通常认为，在高频交变电场的作用下，等离子体处理设备电极鞘层界面电子的“冲波”现象可以有效地增强电离，一般表现为等离子体处理设备鞘电压和鞘层持续波动变化。已有的计算和论证表明，电子通过鞘层振荡来获得能量，而“冲浪”电子将对电离过程产生积极影响。
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