等离子清洗机Plasma Cleaner)又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。

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等离子清洗机(Plasma Cleaner)又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。

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低温等离子体去除污染物的机理:等离子体化学反应过程中,如何检验镀镍层附着力等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下:(1)电场+电子→高能电子(2)高能电子+分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团(3)活性基团+分子(原子)→生成物+热(4)活性基团+活性基团→生成物+热从以上过程可以看出,电子首先从电场获得能量,通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去,获得能量的分子或原子被激发,同时有部分分子被电离,从而成为活性基团;之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。

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这些高能电子与甲烷分子发生非弹性碰撞,进而生成大量的活性物种及活性自由基,自由基再进一步碰撞结合生成 新的物质。

(赫兹)。有三种常用的等离子体激发频率。激发频率为40 kHz的等离子体为超声波等离子体,13.56 MHz的等离子体为射频等离子体,2.45 GHz的等离子体为微波等离子体。不同的等离子体产生的自偏压是不同的。

等离子清洗机/等离子处理机/等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子处理和等离子表面处理等场合。

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