根据气体的性质，氩气等离子体表面活化等离子体可分为以下两种类型:气态等离子体和非气态等离子体，气态等离子体根据其所使用气体的化学性质不同又可分为惰性气体和活性气体。惰性等离子体如氩气(Ar)、氮气(N2)、氟化氮(NF3)、四氟碳(CF4)、空气等，气态等离子体如氧气(O2)、氢气(H2)等。在清洗过程中，不同类型的气体反应机理不同，活性等离子体对化学反应有很大的影响。由于气体的性质不同，用于清洗的污染物必须有不同的选择。
等离子体处理后的表面具有更高的表面能，氩气等离子体表面活化能有效地与塑料密封材料结合，减少塑料密封过程中的分离和针孔现象。氩气可以在等离子体环境中产生氩气离子，并利用在材料表面产生的自偏置进行溅射，消除(去除)表面对外来分子的吸附并能有效去除表面的金属氧化物——在微电子过程中，线前等离子体处理就是这种工艺的典型代表。
一般处理主要有两个方面，氩气等离子去胶设备一是除去磷化面(机)层，二是除去氧化物。借助等离子清洗机，可被(机)表面离子轰击污染;在真空中，污染物在高效能粒子的影响下部分蒸发，污染物由于受到高效能粒子的影响质量被吸走了。金属氧化物与处理过的气体(通常是氩气和氢气)发生离子反应。有时使用两步处理。首先在氧气中氧化5分钟，然后用氢气和氩气的混合物除去。你也可以同时使用几种气体。
气体的流动方向会形成气场，氩气等离子去胶设备影响等离子体的运动、反应和均匀性。产品植入后，会影响电场和气场特性，导致能量分布不均，局部等离子体密度过大而烧板。除上述因素外，已证明等离子清洗机的处理时间、工频、车型等也对产品的处理效率和变色有影响。。手表配件采用精密零件等离子处理设备，表面清洗处理有两根气管，容易被氧化的材质，可以对接氮气、氩气等惰性气体。
氩气等离子体表面活化
由于等离子体清洗是在高真空条件下进行的，等离子体中各种活性离子自由路径长，穿透性和渗透性强，可以用细管和盲孔等复杂结构进行处理。另一类等离子体表面处理机是氩气、氦气、氮气等非反应气体，氮气等离子体处理可以提高材料的硬度和耐磨性。
Z广泛应用于无机基板的表面粗化工艺。如玻璃基板外观处理、金属基板外观处理等。3活性气体辅助等离子清洗机的活化和清洗过程中，过程气体往往是混合的，以达到更好的作用。由于氩气分子尺寸较大，经比较电离后产生的颗粒，一般在表面清洗和活化过程中，氩气与活性气体混合。
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由于PTFE的疏水性(较低的表面能)，其表面很难形成金属化的孔。用于制造柔性印制板的聚酰亚胺等材料的表面状态也是如此。面对这一发展趋势，等离子体设备加工技术将显示出其独特的优势。使用等离子设备，一方面可以扩大企业的产品市场，另一方面也可以提高企业的产品档次，使企业在不断变化的市场需求中，拥有成功的有力工具。
氩气等离子去胶设备
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等离子体表面清洗设备的应用使材料暴露在非粘性气体的等离子体中，氩气等离子体表面活化用等离子体轰击材料表面，使材料表面结构发生许多变化，实现了材料的活化改性。等离子体表面清洗机用于材料表面改性的功能层非常薄(几到几百纳米)，不影响材料的整体宏观性能，属于非破坏性过程。等离子体表面改性还可以利用等离子体聚合或接枝聚合功能在材料表面产生超薄、均匀、连续无孔的高功能，实现疏水、耐磨、装饰等功能。
