.34-NI2.75-ZN-O/Y-AL203 催化剂仅用作调节剂。正丁烷在纯等离子体装置作用下的主要产物是C2H2。这是因为CC键的结合能低于CH键的结合能。在大气压等离子体装置的作用下,CCP等离子体清洁设备CC键优先断裂形成。优先产生与 C2H2 进一步反应的 CHX 活性物质。。

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这对于蚀刻的优点是定义通道材料图案的单一目的。此前,CCl2F2气体用于刻蚀,但由于选择性和等离子体对底层膜的破坏,有人开发了两种组合的气体等离子体刻蚀方案,CHF3+BCl3和CF4+BCl3。在有效性方面,两种方法都可以实现更快的蚀刻速率和更高的 InAlAs 选择性,并且在低电压和高射频功率下更容易实现。两种相似材料之间蚀刻速率的差异是由于反应产物的挥发性不同。

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