在真空室中，半导体等离子去胶设备射频电源在一定压力下产生高能无序等离子体，通过等离子轰击清洗产品表面。达到清洗的目的。等离子体处理可纳入导电，半导电和非导电应用。等离子体清洗表面的有效方法是去除杂质、污染物、残留物和有机(机械)化合物。这个过程被称为微清洗或蚀刻，提供了提高附着力的另一个重要方面。此外，等离子体表面活化(转化)处理(快)快、有效、经济、环保。
储存、排放等处理措施，半导体等离子体清洁设备使生产现场易于保持清洁卫生;等离子清洗可以不搬运物体，并可以搬运各种材料，无论是金属。半导体、氧化物或聚丙烯等聚合物材料。聚氯乙烯。聚酰亚胺。聚酯、环氧树脂等)。特别适用于不耐高温、不耐溶剂的材料。同时，你可以对整体有所选择。局部或复杂结构进行局部清洗;四、在完成清洗去污后，可改善材料本身的表面性能。如提高表面润湿性，提高膜的附着力等，在许多方面都有重要的应用。五、性能稳定，性价比高。
一、等离子体处理设备的特点环保技术:等离子体离子处理设备的作用过程为气固共格反应，半导体等离子去胶设备不消耗水资源，不添加化学药剂，不污染环境。适用范围广:可以很好地处理金属复合材料、半导体材料、金属氧化物和大多数高分子材料，无论被加工对象的类型。
它不区分加工对象，半导体等离子去胶设备可以处理不同的基片，无论是金属、半导体、氧化物还是聚合物材料都可以用等离子体很好地处理，因此，特别适用于耐高温和耐溶剂的基片材料。等离子清洗机是一种高科技产品，它也被称为等离子表面处理设备，其主要特点可以达到常规清洗所不能达到的效果，同时提高了产品质量，有效的解决了环保问题。
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其中，中国台湾主板厂商今年纷纷加大资本支出投资扩建厂房和生产，尤其是ABF主板投资更为活跃。至于Mainland China制造商而加载板比例不高,但是因为喜欢加载板,前景是积极的输入,负载板PCB的整体输出中国尚未达到5%,而且主要是在MEMS等产品的初步阶段,但在半导体行业的国家政策和修养,预计将加快中国大陆在载重板上的发展。
从各种清洗方法来看，等离子体清洗是最先进的清洗方法。等离子清洗技术的特点是既可加工基材类型的对象，可加工如金属、半导体和氧化物等大部分高分子材料(如聚丙烯、聚酯、聚酰亚胺、聚(乙氯、环氧、聚四氟乙烯)、如对原基材可以处理得很好，并可以实现整体和局部的清洗和复杂的结构。清洗的重要作用之一是提高膜的附着力，如在硅衬里沉积Au膜较低，Ar等离子体处理表面碳氢化合物等污染，明显提高Au的附着力。
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