用来模拟大气等离子处理设备下介质阻挡径向演变的二维模拟自然地由于放电强度较大，径向附着力大气压下气体放电流体模拟中的多尺度问题、计算稳定性等问题比低气压下放电问题更加突出。。等离子表面处理机去胶法，除胶气体为氧气。该方法通过将电路板置于真空反应系统中，通入少量氧气，再加上高频高压，由高频信号发生器产生高频信号，在石英管中形成较强的电磁场，将氧离子化，形成氧离子、活化氧原子、氧分子和电子等混合物质的辉光柱。
通过比较分布可以看出，径向附着力不同尺寸的玻璃环的内护套对于不同内径的玻璃环的护套是不同的。您可以看到粒子上的径向约束是不同的。对实验结果的进一步分析表明，在相同的实验条件下，不同玻璃环的内径不影响等离子体鞘层的厚度。护套的厚度与气压、放电功率、介电材料等有关。研究结果对于详细研究非常重要。分析各种约束条件下等离子体鞘内带电粒子的复杂运动以及等离子体鞘对加工的影响。。
通过图像处理拟合得到内护套径向二维分布，径向附着力是什么玻璃环内护套具有四阶多项式分布形式。正在研究不同内径玻璃环中等离子体鞘层的分布规律。金属电极的护套形成一个势阱，灰尘颗粒可以结合到该势阱上。由于带电粒子漂浮在鞘层边界附近，因此可以使用粒子分布来获得鞘层分布。没有方向限制。它是抛物线势，但它是二次多项式形式的势。颗粒的平衡位置靠近玻璃环。比较不同内径玻璃环内鞘的分布情况，不同尺寸的玻璃环内鞘对颗粒的影响。径向约束是不同的。
为处理上述技术问题，径向附着力是什么作为本实用新型一个优选施行例，在密封圈本体内侧设置第二凸部，凭借第二凸部可以前进密封圈轴向的密封功能。类似地，本实用新型供给的等离子体加工设备，由于选用本实用新型供给的密封圈，凭借易于变形的DI一凸部和第二凸部不只可以分别前进密封圈径向和轴向的密封功能，使得背吹空间获得杰出的密封，然后可以削减因氦气泄露对工艺腔室真空度的影响，一起削减氦气的运用量，下降出产本钱。
径向附着力是什么意思
同样，本实用新型提供的等离子处理设备，由于选用本实用新型提供的密封圈，加上易变形的DI凸部和第二凸部，不仅可以分别提升密封圈的径向和轴向密封功能，使反吹空间得到很好的密封，进而减少氦气泄漏对处理室真空度的影响，一起减少氦气的利用量，从而降低生产成本。
为解决上述技术问题，作为本发明的一个优选实施例，所述第二凸部设置在所述密封圈主体内部，通过所述第二凸部沿轴向推进所述密封圈的密封功能。 .能够。方向。同样，本发明提供的等离子处理装置通过选择本发明提供的密封圈，通过一个易于变形的DI-1突起，提供密封圈的径向和轴向密封功能。前进。该部分和第二脊可以充分密封反吹空间，减少氦气泄漏对工艺室真空度的影响，减少氦气的使用，降低制造成本。
这是因为随着等离子体能量密度的增加，等离子体中的电子能量和电子密度增加，导致高能电子与H2发生非弹性碰撞。增加活性物种产生的可能性，增加 C2H6 的转化率，增加其他产品所需的各种 CHx 和 C2Hx 径向浓度，并增加 C2H4 和 C2H2 的浓度。增加生成。 ..当等离子体能量密度为860 kJ/mol时乙烷的转化率可达59.2%，乙烯和乙炔的总收率可达37.9%。
不同介质材料在等离子体中形成的鞘层厚度不同，因此，置于金属下板上的玻璃环中鞘层的分布是复杂的，它不仅与等离子体参数有关，还与玻璃环的尺寸有关。当玻璃环半径较小时，环内鞘层的径向分布可用抛物线势近似模拟。在这种抛物线势的约束下，带点的粒子很容易形成库仑球，但当玻璃环半径较大时，环内势的分布不再是抛物线势，势的复杂分布可能引起粒子的各种复杂运动。
径向附着力
当重力与护套静电力达到平衡时，径向附着力粉尘颗粒会悬浮在护套附近。因此，粒子的位置可以用来近似鞘层边界，比探头测量更精确。研究通常用于板上面的金属环放置或玻璃环管理尘埃粒子的水平运动和不同电介质材料形成的等离子体鞘层厚度是不同的,因此,在金属板上玻璃环鞘层的分布更为复杂,这不仅与等离子体参数有关，还与玻璃环的尺寸有关。当玻璃环半径较小时，内护套的径向分布可以用抛物线势近似。
