等离子可以适用对物体表面的蚀刻活化清洗等目的通过对物体表面进行等离子轰击，可以达到对物体表面的蚀刻，活化，清洗等目的。可以显著加强这些表面的粘性及焊接强度，等离子表面处理系统现正应用于LCD、LED、IC、PGB，引线框架，平板显示器的清洗和蚀刻。
电子、航空、健康等行业，可靠性都依靠于两个表面之间的粘结强度。不管表面是金属、陶瓷、聚合物、塑料或是其中的复合物，等离子体都有潜能改进粘着力，提高产品质量。等离子清洗机处理产品表面是节能的、环保的、经济的。
根据用途的不同，可选用多种构造的等离子清洗设备，并可通过选用不用种类的气体，调整装置的基本结构大致是相同的，一般装置可由真空室、真空泵、高频电源、电击、气体导入系统、工作传送系统和控制系统等部分组成。一般清洗处理持续几十秒到几分钟。清洗完毕后切断高频电压，并将气体及汽化的污垢排出，同时向真空室内鼓入气体，并使气压升至一个大气压。
给一组电极通上射频电源，电极之间形成高频交变电场，区域内气体在交变电场的激荡下，形成等离子体，活性等离子对物体表面进行物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，而达到表面处理的目的。等离子可以适用对物体表面的蚀刻活化清洗等目的00224582