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（1）化学反应（化学反应）化学反应中常用的气体有氢气(H2)、氧气(O2)、甲烷(CF4)等，表面附着力检验记录表这些气体在等离子体中反应成高活性自由基，方程是这些自由基会进一步与材料表面发生反应。其反应机理主要是利用等离子体中的自由基与材料表面反应。压力较高时，有利于自由基的产生。因此，如果化学反应是主要反应，就需要控制较高的压力来反应。
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因此，表面附着力的测量实验报告一方面需要较高的外加电压才能在大气压下造成气体破坏。由于强度下的电子雪崩效应强，放电困难，因为它很快进入灯丝放电或电弧放电模式。在接近室温的温度下获得均匀的辉光放电等离子体。。等离子清洗机是一种高能等离子应用，它使用等离子专注于等离子表面改性或等离子表面处理。等离子清洗利用了等离子的高能量和不稳定的特性，当固体材料的表面暴露在等离子中时，表面的微观结构、化学性质和能量都会发生变化。
(3)真空室中的电极与接地装置之间施加高频电压，表面附着力的测量实验报告使气体被击穿电离，通过辉光放电产生等离子体。真空室中产生的等离子体完全包裹在被加工工件中，清洗操作开始。一般清洗过程从几十秒到几分钟。(4)清洗完毕后，切断高频电压，将气体和蒸发的污物排出，同时排出到真空室空气中，使压力上升到一个大气压。
