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等离子体发生器由两个相互绝缘的金属同轴电极组成。内电极连接射频电源输出端,达因值怎么判定外电极接地。在施加适当的功率后,引入的气体分解并在电极之间电离,形成冷等离子束并均匀向下喷射。选择氩气和无腐蚀性、无毒的SF6气体。喷嘴直径为10mm,射束长度范围为5-20mm。梁的长度取决于放电功率的大小和进气量的大小。

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