(2) 物理反应（物理反应）等离子体中的离子主要用于纯物理撞击，氧等离子体进行表面活化破坏材料表面的原子或附着在材料表面的原子。自由基是：在物理冲击中，离子的能量越高，冲击力越大，因为它更轻、更长并且可以储存能量。因此，如果身体反应是主流，则需要对其进行控制。进行反应的压力。 ，因此，清洗效果更好。。
等离子体设备其原理是利用等离子体的特性，表面活化剂是否有毒性利用大数量的离子体、激发分子、自由基等多种活性颗粒作用于样品表面，不仅去除原有的污染物和杂质，而且对样品表面产生腐蚀，使其表面粗糙，形成许多微小的凹坑，增大试样表面的比例。提高固体表面的润湿性能。
由于电子质量极小，氧等离子体进行表面活化因此比离子的移动速度要快的多，当进行等离子体处理时，电子要比离子更早达到物体表面，并使表面带有负电荷，这有利于引发进一步反应。
（2）蒸气类型：被加工靶材的板材及其表面污垢是多样化的，表面活化剂是否有毒性而不同蒸气释放的电能所引起的等离子体清洗率和清洗效果差异较大。因此，应有针对性地选择等离子体工作蒸气，如氧等离子体表面的油垢，采用氢氩混合气体等离子体清洗机去除氧化层。（3）释放电能和电功率：增加释放电能和电功率，提高等离子体密度和活性粒子的能量，从而提高清洗效果。例如，氧等离子体的密度与释放的电功率密切相关。
氧等离子体进行表面活化
在通过氧等离子体改性处理将PDMS与其他基板粘合的技术中，一般认为PDMS基板和盖板需要在氧等离子体表面改性后立即粘合。否则，PDMS 表面将非常困难。操作过程时间短，一般为1-10分钟，恢复快，粘接失败。通常，PDMS基板和硅基板上都有相应的微结构，在接合之前需要一定的时间来对齐结构图案。因此，如何将 PDMS 保持在活性表面上延长时间是保证粘接质量的关键。
其效果是选择性、清洗率好、均匀性和方向性。下面我们来介绍一下等离子体设备的典型物理清洗过程是由哪些气体组成的。等离子体物理清洗过程是氩等离子体清洗。氩本身是稀有气体，等离子体中的氩不易与表层发生反应，只是根据离子轰击对表层进行净化。一般的等离子体化学清洗工艺是氧等离子体清洗。等离子体形成的自由基非常活跃，容易与碳氢化合物反应形成二氧化碳、一氧化碳、水等挥发性物质，从而去除表面污染物。
等离子体表面处理机在塑料橡胶工业中的应用:由于聚丙烯、聚四氟乙烯等塑料材料没有极性，在工业应用中，一些塑料制品表面粘接会出现粘接困难，在没有等离子体表面处理、印刷、粘接、涂布等工艺很差，甚至无法进行。有些工艺在生产过程中使用一些化学品对这些橡塑表面进行加工，这样可以改变粘接效果，但是这种方法很难掌握，化学剂本身就有毒性，操作非常繁琐，成本也非常高，而化学药剂对橡塑材料原有的优异性能也有影响。
用氟处理突出的玻纤头部，还应控制工艺条件，防止由于玻纤过腐蚀而引起芯吸作用，用这种方法对打孔后的刚挠印刷电路板进行去钻污凹蚀，然后对孔进行金属化处理，通过金相分析发现，铜层与孔壁之间的粘附力较低，因此采用金相分析法进行热应力试验时，发现铜层与孔壁之间的粘附力较低，从而导致铜层与孔壁脱开。另外，氢氟酸或氟化氢毒性很大，废水处理也很困难。
氧等离子体进行表面活化
而plasma的蚀刻是干式的，表面活化剂是否有毒性并不会有化学工业残存，而且等离子的扩散性十分强，所形成的蚀刻性气相等离子能够对微米级的孔内开展合理有效的蚀刻，咬蚀量还可以根据加工工艺技术参数的调节获得更好的操纵。三、plasma四氟化碳运用的注意事项（1）四氟化碳混合气体虽然是无毒性不燃气体，但浓度高时会引起窒息和麻痹，因此运用时应注意气路密封，建议运用防爆管路。（2）为保证加工工艺稳定，需运用专用型流量控制器。
等离子体汽车清洗机等离子体护套的具体性能与系统温度T和粒子密度N密切相关，氧等离子体进行表面活化通过对护套的研究可以了解等离子体的一些重要性质。。等离子体活化与修饰：1。
