(11)21世纪初,聚酰胺交联度高亲水性好新型FCCL基材出现,如用聚醚醚酮(PEEK)等热塑性树脂制造出的液晶聚合物类薄膜基材(Liquid Crystal Polymer,缩写为LCP)、超低介电常数性的多孔质聚酰亚胺薄膜基材、PEN薄膜基材、卷状型RF-4覆铜箔薄片(厚度50μm以下)、芳酰胺纤维极薄基材(厚度为35μm)等。

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因此这种装置的设备成本不高,聚酰胺交联度高亲水性好加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的(有)机溶剂,这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺;七、使用等离子清洗,避免了对清洗液的运输、存储、排放等处理措施,所以生产场地很容易保持清洁卫生;八、等离子清洗机可以不分处理对象,它可以处理各种各样的材质,无论是金属、半导体、氧化物,还是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物)都可以使用等离子体来处理。

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等离子体清洗主要是生理反应,没有化学反应,氧化不干净的表面,能保持清洁的化学纯度对象;缺点不损伤表面,将带来伟大的热效应,可怜的各种物质的选择性表面的清洁对象、低腐蚀速度。采用化学反应等离子体进行清洗,其优点是清洗速度快,选择性好,可以更有效地去除(机),缺点是表面会带来氧化物。化学反应的缺点比物理反应的缺点更难克服。但两种反应机理对表面微观结构的影响存在显著差异。

它只需要很低的气体流量就可以对整个、局部和复杂结构进行清洗。在等离子体清洗过程中,不使用化学溶剂,因此基本没有污染物,有利于环境保护。此外,还生产成成本低,清洗均匀性、重复性和可控性好,易于实现批量生产。等离子体,即物质的第四态,是由部分电子剥夺后的原子和原子电离后产生的电子、正电子组成的电离气态物质。这种电离气体由原子、分子、原子团、离子和电子组成。

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