在第五个反应中，氧等离子体处理仪被激发的氧分子分解成两个氧原子自由基。第六个反应式表示氧分子在激发的自由电子的作用下分解成氧原子自由基和氧原子阳离子的过程。当这些反应连续发生时，会形成氧等离子体并形成其他气体的等离子体。也可以用类似过程的反应式来表示。当然，实际的反应比这些反应解释的要复杂。等离子类型(1)低温和高温可分为高温等离子和低温等离子表面处理机两种。在等离子体中，粒子的温度实际上是不同的，温度也是如此。
用扫描电子显微镜(SEM)、红外光谱(FTIR-ATR)和表面接触角研究天然胶乳导尿管经氧等离子体处理前后的表面结构、性能和化学成分的变化，氧等离子体处理仪器结果表明用氧等离子体处理后的导尿管表面变滑，表面接触角由84°减少至67°，表面无有害基团产生，说明氧等离子体处理是一种有效的表面处理方法。 另外，可用等离子处理硅橡胶以增加其表面活性，然后在表面涂度一层不易老化的疏水材料，其效果也非常好。。
由于用氧等离子处理麻织物时，氧等离子体处理仪器纤维表面渗入氧原子，产生自由基，引起空气中的氧自由基反应，引入了这一类亲水性基团如羟基、羰基、过氧基等，从而改善织物的亲水性。而处理功率越大，引发的高速微粒数越多，能量也越大，对纤维表面的轰击刻蚀作用越加重，麻纤维表面的结晶度降低，从而提高了织物的润湿性，有利于织物的染色浓度的提高。提高纤维表面的刻蚀粗糙度和润湿性，可提高纤维的着色率和着色深度。
由于pp聚丙烯的氧等离子体表面处理是用低温等离子处理机进行的，氧等离子体处理仪器pp聚丙烯的表面张力从29dyn/cm/cm提高到72dyn/cm，达到了全吸水的效果（效果）。其他材料的表面经过（化学）处理后，可以对表面进行硝化、氨处理或氟化处理。通过制备胺基、羟基、羰基、羧基等官能团，对等离子体表面进行改性，提高界面粘附性能。
氧等离子体处理仪器
同时，PDMS、PMMA以及硅烷化PMMA在不同等离子体处理时间下的接触和接触角的恢复正交实验提供了更大耦合力所需的等离子体处理时间和有效操作时间区域。。随着氧等离子清洗机技术的发展，等离子清洗技术的应用越来越广泛。例如，在国防方面有两大应用。 1.氧等离子清洗机航空电连接器的应用电连接器绝缘体与导线密封之间的耦合效应一直影响着家用电连接器的发展，尤其是在航空航天领域。
5 硬盘用等离子清洗来去除由上一步溅镀工艺留下的残余物, 同时基材表面经过处理, 对改变基材的润湿性、减小摩擦, 很有好处。6 去除光致抗蚀剂在晶片制造工艺中, 使用氧等离子体去除晶片表面抗蚀刻 (photoresist) 。干式工艺唯一的缺点是等离子体区的活性粒子可能会对一些电敏感性的设备造成损害。
等离子体表面处理仪机制原理解析： 等离子体表面处理仪是运用低温等离子形成低温等离子进行表层改性的设备。将热量加到物件上，或借助加速电子，使离子加速等等这些，这类中性化有机物被电离，形成由许多带电粒子(电子、离子)和中性化粒子组成的混合物，叫做低温等离子。电浆整体呈电中性，是除固体、液体、气体以外的有机物第四态。
等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。 2.等离子清洗机在同样组合中可一机多用，进行消融、交联、激活和沉积等多种工艺，高度激活，接近常温，比电晕放电和电弧放电方法具有更长的保存时间和较高的表面张力。
氧等离子体处理仪器
等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，氧等离子体处理仪从而实现清洁、涂覆等目的。等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的"活性"组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。
仪器电极的维护有很多方面，氧等离子体处理仪其重要性不言而喻。不仅影响等离子表面处理产品的有效性，还延长了等离子表面处理设备的使用寿命，提高了设备的经济性。使用。它有积极的作用。因此，千万不要小看等离子吸尘器设备的电极保养。这样，您的日常维护过程可以从以下几个方面着手： 1.每次设备交付时，都会介绍相应电极的维护要求。对于实际的维护工作，建议根据等离子吸尘器的设备制定单独的电极维护计划。您的实际使用。
