等离子设备干式处理无污染、无污水，高附着力UV哑光树脂满足节能环保要求;4、等离子设备可在生产线上在线运行，降低成本。。等离子设备已逐步进入生活和生产的行列:等离子设备在橡塑行业的应用已经非常成熟，其相关产值逐年增加。国外市场产值高于国内市场，但国内发展空间大，应用前景可观。随着经济的发展，人们的生活水平不断提高，对消费品的质量要求也越来越高，等离子体设备逐渐进入消费品生产行业。
随着汽车工业的快速发展，高附着力UV哑光树脂不少国外厂商瞄准中国市场，不少零配件厂商也留在中国，对清洗提出了新的技术要求。可以说，等离子清洗技术更适合汽车工业的发展。医疗器械在使用前的处理过程非常精细，用氟利昂清洗不仅浪费资源，而且非常昂贵，而血浆表面处理技术的使用避免了使用化学物质的弊端，更适合现代医学科技的技术要求。光学器件和一些光学产品对清洗的技术要求非常高，等离子体表面处理技术可广泛应用于该领域。
根据半导体材料的市场预测，高附着力UV哑光树脂对于一家每月生产 10 万片晶圆的 20NM DARM 晶圆厂来说，产量下降 1% 将使年利润从 3000 万美元减少到 5000 万美元，从而导致逻辑芯片制造商的亏损增加。此外，减产（低）也增加了对已经很高的制造商的资本支出。因此，工艺优化和控制是半导体材料制造过程中的重中之重，制造商对半导体行业尤其是清洗工艺的需求越来越大。
等离子体按状态、温度和离子密度一般分为高温等离子体和低温等离子体（瓶体和低温等离子体）。其中，高附着力UV哑光树脂高温等离子体的电离度接近1，各种粒子的温度几乎相同，处于热力学平衡，主要用于受控热核反应的研究。冷等离子体处于非平衡状态，不同粒子的温度也不相同。其中，电子温度（Te）≥离子温度（Ti）可达到104K或更高，但离子和中性粒子的温度可降至300-500K。一般气体放电电子属于低温等离子体。
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不同有源区宽度下，光板多晶硅及有表面形貌的多晶硅在曝光及蚀刻前后特征尺寸的差异，可见有源区宽度不同，等离子表面处理机蚀刻过程的蚀刻偏差(Etch Bias)也会存在差异。。
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通过等离子清洗过后可以有效去除金导体厚膜基板导带上的有机沾污。参见下图, 厚膜基板上导带经过射频等离子清洗后, 导带上存在有机沾污发黄的部位完全消失, 表明有机沾污被去除。
等离子体清洗蚀刻生产等离子体的机器是将两个电极设置在密封的容器中形成电磁场，用真空泵实现一定程度的真空，随着气体越来越稀薄，分子之间的距离以及分子或离子之间的移动距离越来越长。在磁场作用下，碰撞形成等离子体，同时会产生辉光。等离子机等离子在电磁场空间中运动，轰击被处理物体表面，以达到表面处理、清洗和蚀刻的效果。
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