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等离子体清洗/刻蚀机产生等离子体的设备,在密封容器内设置两个电极形成电场,用真空腔抽取进行一定的真空度,随着气体越来越稀薄,分子间的距离越来越远,分子或离子的自由运动距离也越来越大,受到电场的作用,它们之间的碰撞形成等离子体,等离子体活性越来越高,其能量可以破坏几乎所有的化学键,在任何暴露的表面上引起反应,不同气体的等离子体有不同的性质,例如氧气等离子体具有高的氧化性,能将光刻胶反应产生的气体氧化,从而达到清洗的效果;蚀刻性气体等离子体有很好的各向异性,因此能够满足蚀刻的需要。

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